执行北方华创50223-000176中UHP-A标准,纯净度及综合性能均优于日本进口316L-A,是目前半导体行业最高级别的超高纯316L材料,适用于最严苛的电子特气环境和极高的真空度要求。
1.夹杂物评定
2.腐蚀率
宝立316L UHP-A材料在22℃,6%的三氯化铁溶液中72h的腐蚀速率为47.48g/m2,腐蚀速率仅为日本进口316L-A的一半。
3.表面缺陷
宝立316L UHP-A 材料的表面缺陷数为0。
4.临界点蚀温度
宝立316L UHP-A材料的临界点蚀温度>85℃
5.释气量
放气量测试结果显示,宝立316L UHP-A材料的各类气体或水分子的释放率都低于日本进口316L-A一个数量级。